Phân loại
Phòng thí nghiệm hệ thống sưởi ấm Thiết bị
Tên sản phẩm
Thiết bị lắng đọng kim cương đơn tinh thể mpcvd
Công suất đầu ra
0.6 ~ 12KW điều chỉnh liên tục
Điều khiển áp suất tự động
40 ~ 250Torr
Tần số vi sóng
2450 ± 25MHz
Điều chỉnh vi sóng
Ăng ten chuyển đổi chế độ bộ điều chỉnh 3
Phạm vi áp suất hoạt động
10 ~ 250Torr
Toàn vẹn chân không
<1.0x10-9 PA * m3/SN
Cửa sổ bảng mẫu
Cổng hình chữ nhật 105x50mm, cửa trước được niêm phong bằng flo O-
Tỷ lệ rò rỉ chân không
<1*10-9 PA m3/SN